Inclui principalmente ultra o gerencio, o espelho da precisão moendo e moendo. Ultra no torno da precisão, o gerencio do micro é realizado com a única ferramenta de gerencio de cristal do diamante após a moedura fina. A espessura de corte é somente aproximadamente 1 mícron. É usada frequentemente processar a elevada precisão e partes de superfície lisas de materiais do metal não-ferroso, tais como espelhos esféricos, aspheric e lisos. Por exemplo, o espelho aspheric com um diâmetro de 800mm usados no equipamento da fusão nuclear pode ser processado com uma precisão máxima de 0,1 μ m e uma aspereza de superfície do μm rz0.05.
Orçamento grátisQuando a precisão fazendo à máquina for nanômetro ou mesmo unidade atômica (a distância de estrutura atômica é 0.1-0.2 nanômetros), o método de corte não pode adaptar-se lhe. Precisa a ajuda do método fazendo à máquina especial, isto é, a aplicação da energia química, da energia eletroquímica, da energia térmica ou da energia elétrica, de fazer estas energias exceder a energia obrigatória entre átomos, para remover a parte da adesão entre átomos na superfície do workpiece a fim conseguir ultra o objetivo de fazer à máquina da precisão, da combinação ou entrelaçar a deformação. Este tipo do processamento inclui o lustro, engasgar do íon e implantação de íon, a exposição do feixe de elétron, o processamento do raio laser, a evaporação do metal e a epitaxia de feixe molecular químicos mecânicos. A característica destes métodos é que a quantidade de material removeu ou adicionou à camada de superfície pode ser controlada muito finamente. Contudo, para obter ultra a precisão fazendo à máquina da precisão, ainda depende do equipamento fazendo à máquina da precisão e do sistema de controlo preciso, e usa ultra a máscara da precisão como o intermediário. Por exemplo, na fatura de placa do VLSI, o feixe de elétron é usado para expor o fotoresistente (veja a litografia) na máscara para fazer os átomos do fotoresistente polimeriza (ou decompõe) diretamente sob o impacto do elétron, e então as peças polimerizadas ou unpolymerized são dissolvidas pelo colaborador para fazer a máscara. A fatura de placa da exposição do feixe de elétron exige a precisão de posicionamento do ± até 100% do worktable equipamento fazendo à máquina de uma precisão de 0,01 mícrons ultra.
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